іменники на -цій(а)/-ацій(а), -ій(а) «відповідають дієсловам із суфіксом -ува-ти із основами іншомовного походження і мають значення опредметненої дії, процесу, проте часто ознака протяжності дії в часі виражена в них нечітко. Вони також набувають ряду інших значень: предмета - наслідку дії, пристосування, обладнання потрібного для дії, сукупності осіб, закладу, місця призначеного для виконання дії, різного роду абстрактних понять» [15, с. 74].
Чимало сучасних термінознавців не рекомендують вживати однин термін на позначення дії (доконаної та недоконаної одночасно) і наслідку дії, бо «така нагромадженість значень не спирається на українську традицію і не вдосконалює мови, а є запозиченою прямо або через російську мову із західноєвропейських мов. Коли одне слово означає кілька понять, то зрозуміти його значення можна лише з контексту, а це ускладнює процес сприймання науково-технічного тексту» [3, с. 3].
Творці держстандартів також зазначають, що «не можна стандартизувати іншомовні іменники на позначення дії, що закінчують на -цій (а), -інґ, - мент та ін., які не даватимуть змоги розрізняти поняття дії і події (недоконаного і доконаного процесу) і цим руйнуватимуть структуру української мови. Такими іменниками можна позначати інші поняття: наслідки дії, об'єкти, суб'єкти тощо (процес - публікування, об'єкт - публікація)» [4, с. 21].
За іменниками іншомовного походження зі суфіксом -цій(а)/-ацій(а), -ій(а) пропонують закріпити лише одну функцію - найменування явищ, бо для найменування процесів та наслідків дії українська мова має інші словотворчі засоби. У російській мові для номінації і явища, і процесу вживають один термін на -цій(а)/- ацій(а), -ій(а), що, очевидно й спричинило вживання того самого іменника для найменування різних науково-технічних понять.
М. Гінзбург розмежовує поняття явища та процесу. На його думку, «явище - це зовнішній вияв сутності предметів, процесів. Тоді як процес - це послідовне змінювання станів, яке відбувається закономірним порядком» [16, с. 90], тому «для назв фізико-хімічних процесів використовують віддієслівні іменники на -нн'(а), утворені від дієслів недоконаного виду, а називати явища варто іменниками, які не конкретизують час їх протікання (віддієслівні іменники зі суфіксами -цій(а)/-ацій(а), -ій(а), віддієслівні іменники з нульовим суфіксом або із суфіксом -енн'(а))» [16, с. 90].
Застосовуючи це правило, можемо частково уникнути синонімії у термінології. Поряд із термінами іншомовного походження на -цій(а)/- ацій(а), -ій(а) не вживатимуть автохтонні іменники зі суфіксом -нн '(а), мотивовані дієсловами недоконаного виду зі суфіксами -а-, -ва-, -ува- (абсорбція - вбирання, іригація - обводнювання тощо). Віддієслівні іменники зі суфіксом -енн'(а), які походять від дієслів доконаного виду не варто вживати поряд із цими іменниками (деклінація - відхилення, коагуляція - вурдження), бо вони позначають завершену або одноразову дію, а не явище.
Нелегко уникнути паралельного функціонування українських віддієслівних іменників із нульовим суфіксом поряд із запозиченими термінами зі суфіксами -цій(а)/-ацій(а), -ій(а), адже іменники обох типів можна вживати в українській науково-технічній термінології для найменування явищ (індикація - показ, інструкція - настанова). Вживання автохтонних термінів більш виправдане, адже вони мають прозору семантику і більш доступні для широкого загалу. Щодо запозичених термінів цього типу, то їх можна уникати, окрім тих випадків, коли вони не мають українських аналогів.
Можна паралельно вживати запозичений термін зі суфіксом -цій(а)/-ацій(а) та автохтонний віддієслівний відповідник зі суфіксом -к(а) для найменування наслідку дії (об'єкта, місця або стану, що виникає внаслідок події, назва величини, що характеризує цей об'єкт чи стан [16, с. 79]). Українські відповідники можуть витіснити запозичені терміни з тим самим значенням.
Іноді український відприкметниковий іменник зі суфіксом -іст'- вважають синонімом запозиченого іменника на -цій (а) (варіація - мінливість). Але термін варіація позначає явище «видозміна», а мінливість називає ознаку, здатність об'єкта до видозміни. Тому в цьому разі варто вживати іншомовний термін варіація або підібрати якийсь інший український відповідник (можливо, видозміна).
У 60-х рр. в українській науково-технічній термінології поряд із латинським терміном корозія пропонувала вживати іменник щербинка, який має первісне демінутативне значення. У цьому випадку краще вживати термін іншомовного походження корозія для позначення цього явища. Бо термін щербинка має більш загальне значення «зазублина, заглибина, в чомусь», яка може виникнути не лише під впливом дії природного середовища, але й внаслідок механічного пошкодження будь-якої поверхні. Термін корозія називає такий тип пошкодження металу, який виник внаслідок хімічної взаємодії зі зовнішнім середовищем.
Паралельно зі запозиченим терміном дистанція можна вживати як нормативні власне українські відповідники відстань і віддаль, які давно функціонують в українській науково- технічній термінології і мають таке саме значення, що й іншомовне слово.
Запозичені іменники зі суфіксами -цій(а)/- ацій(а), -ій(а) в українській науково-технічній термінології під впливом російської мови тривалий час вживали одночасно для найменування кількох понять (процесу, наслідку дії, об' єкта дії). Про це свідчить розмаїття українських відповідників для одного терміна (дисперсія - розрідження, розсіяння, розсіювання, розщеплення, розщеплювання, розріда, корекція - виправлення, виправляння, корозія - ржавіння, роз'їдання, щербинка). Синонімних термінів цього типу можна частково уникнути, закріпивши за іншомовними термінами лише одне значення (явище, наслідок дії). Таким чином поряд із ними припинять вживати українські віддієслівні терміни на -нн'(а), що називають процес, але уникнути паралельного вживання українських іменників на позначення явищ і наслідків дії з нульовим суфіксом набагато важче, адже вони мають тотожне значення.
Синонімами іншомовних іменників зі суфіксом -атор виступають українські