За ознакою походження мікроформи поділяють на два види: оригінальні мікродокументи і мікрокопії.

Першими за часом виникнення є мікрокопії (рукописів, книг, газет, малюнків, креслень і т.п.), що зменшують розміри оригіналу в кілька разів (10, 100 і більш). Мікрокопії завжди передує документ на паперовій основі. Інтеграція процесів обчислювальної техніки і мікрографії призвела до створення оригінальних мікродокументів, яким не передує документ у традиційній друкованій формі. Інформація з ЕОМ виводиться прямо на мікрофішу або мікрофільм, минаючи паперову основу. За способом документування розрізняють фотографічні і поліграфічні мікроформи. З них до відтворених фотографічним способом відносяться мікровідбитки на прозорій основі (мікрофільм рулонний, у відрізку, прозора мікрокарта-мікрофіша); мікровідбитки на непрозорій основі (мікрокартка непрозора, на паперовій основі, мікрокард, мікролекс, мікротейп, мікрострип); мікроформи, відтворені поліграфічним способом (мікрокарта, мікропринт, мініатюрна офсетна печатка). Існують також магнітні, лазерні, оптичні, голографічні та ін. мікроформи.

За способом запису інформації розрізняють мікроформи двох видів: аналогові і дискретні.

В аналогових мікроформах мікрозображення натуральне (незакодоване), зменшене за форматом. До них відносяться: МФ, МФШ, мікропринти та ін. фотографічні і поліграфічні мікроформи. На дискретних мікроформах інформація записана в закодованому, а не в натурально зменшеному вигляді. До дискретних відносяться лазерні мікроформи (голографічні мікроформи, оптичні диски), магнітні мікроформи (магнітооптичні диски, магніто-відеодиски і класичні магнітоформи: магнітні стрічки, магнітні карти, магнітні диски) і мікроформи електромеханічного запису (аналогові відеоформи, грамплатівки).

В залежності від матеріальної основи мікроформи підрозділяють на прозорі (аркушевий мікрофільм для швидкого здійснення інформаційного пошуку) і непрозорі (мініатюрне факсиміле, мікрокадр, мікротейк і мікрострик, мікрокрит, мікролено).

За матеріальною конструкцією розрізняють рулонні мікроформи з лінійним розташуванням мікрозображень (рулонні МФ), плоскі носії з двомірним розташуванням мікрозображень (МФШ, непрозорі МК), складені мікроформи (клясерні карти типу «джекет», апертурні карти).

В залежності від інформаційної ємності розрізняють мікроформи великої (рулонні МФ на котушках ємністю до 44 тис. кадрів, ультрафіши — до 3,2 тис. кадрів) і малої ємності (ФШ до 60-100 кадрів, непрозорі МК до 100 кадрів, апертурні карти до 8 кадрів). Мікроформи відносяться до машиночитаємих документів, для їхнього створення і використання потрібні спеціальні апарати (мікрофільміруючий читально-копіювальний або читальний апарат).

Першу непрозору мікрокопію — прародительку сучасної фотографії — виготовив Д. Даснер у 1839 р. (Франція). У 1852 р. йому вдалося виготовити першу мікрокопію на прозорій основі. У 1853 р. А. Рослінг зробив першу спробу мікрокопіювати друкований матеріал газети, а в 1854 р. X. Даймонд — рукопису. У 1860 р. Р. Дагрон виготовив перший апарат для перегляду мініатюрних зображень. У 1870 р. Г. Скамоні експериментує над виготовленням мікрокопій на непрозорій основі. Після 1905 р. мікрокопіювання почали використовувати бібліотеки. У 1919 р. Бродлі А. Фіске (США) запатентував перший апарат для читання мікрофільмів. У нашій країні розвиток мікрофільмування почалося в 1929 р. З 1930-х років воно розповсюджується й у країнах Західної Європи. Поступово розширюється номенклатура мікроносіїв. Поряд з рулонним застосовується мікрофільм у відрізку.

У 1939 р. з'явилися мікрофіши. Ф. Райдер (США) уперше запропонував застосовувати мікрокопії для збереження документів у фондах бібліотек.

У середині 1950-х років у США вперше з'явилися оригінальні публікації на мікрофішах, тобто аналогові МФШ. У цей же час виникли перші автоматизовані мікрографічні системи.

У 1948 р. виникла мініатюрна офсетна печатка (ідею якої висунув А. Бонні в 1930 р.). З 1950 р. мікропринти знайшли широке застосування у виданні документів.

У 1960-х роках стали відомі ультрафіши зі зменшенням площі в 62500 разів. При такому зменшенні в пачці плівок форматом 75х125 мм і висотою 8 см можна розмістити 1 млн. сторінок тексту.

До кінця 1970-х років мікроформи вважали лише надійною формою збереження інформації і використовували для створення страхових фондів документів. На початку 1980-х років за рубежем з'явилися скануючі пристрої мікрокопіювання і передачі мікрокопійованої інформації на відстань. Була розроблена технологія корегування інформації на мікрофіші і перші електрооптичні носії інформації.

З виникненням ЕОМ і лазера з'явився новий вид мікро форми – COM (computer output microfilm – система виведення інформації з ЕОМ на мікроносій) – мікроформа, якій не передує оригінальний документ. Інформація з ЕОМ у формі електричних сигналів надходить на електрооптичний перетворювач, звідки побуквенно виводиться на світлочутливу плівку. Інформація в кодованій формі утримується в пам'яті ЕОМ, а документ, як такий, створюється на основі цієї інформації тільки при формуванні СОМ-мікроформи. Тому СОМ-мікроформа може бути прирівняна до первинного документа, оригінала, а не до копії, одержання такої мікро форми – реєструючий, а не копіювальний процес.

Наприкінці 1980-х років з'явилися системи CIM (computer input microfilm – системи введення інформації з мікроносія в ЕОМ). Розроблено системи, що з'єднують мікрографію й електронну обробку даних.

Пристрої СОМ дозволили впровадити в практику технологію прямого випуску документів на мікроносіях, тобто оригінальних мікроформ. Пристрої CIM змогли прискорити обробку інформації в 10-12 разів у порівнянні з традиційними системами. Мікроформа стала невід'ємною частиною електронних інформаційних систем. У той же час розробляються автоматизовані мікрографічні системи й електронно-цифровий спосіб кодування інформації на мікроформах.

У 1980-і роки для інформаційних цілей почали використовуватися оптичні і відеодиски (у 1984 р. – КОД, у 1987 р. – WORM – Write Once Read Many і DVI – Digital Video Interactive, а в 1988 р МОД – магнітно-оптичний диск) – особливо об’ємні дискретні (що складаються з окремих частин) мікроформи. На основі