МДП-транзисторов с индуцированным p-каналом, диодов с барьером Шоттки. Решена проблема твердотельной интеграции ГИМ импульсных модуляторов. Разработаны структурная, функциональная и электрические схемы ИС ФМНСИ и ГИМ импульсных модуляторов повышенной мощности. Исследовано влияние конструктивно-технологических и эксплуатационных факторов на ударную стойкость, структуру и фазовый состав толстопленочных резисторов на основе серийных паст. Обосновано их применение при изготовлении микроплат мощных ГИМ импульсных модуляторов тока. Разработаны и внедрены новые конструкции, материалы и технологии изготовления структур, активных и пассивных элементов микросхем и микросборок ГИМ, способы измерения параметров, которые улучшили физико-технические характеристики, повысили выход годных и точность изготовления, стабильность и надежность функционирования, снизили критические габаритно-весовые показатели, обеспечили работоспособность ГИМ импульсных модуляторов в жестких условиях воздействия повышенных климатических и механических факторов. Предлагаются новые программно-методические комплексы для обеспечения сквозной автоматизации разработки и изготовления КД ГИМ, в частности, механических деталей и узлов конструкций модулей МЭА, которые позволили сократить объем и сроки разработки КД.
Ключевые слова: полупроводниковая интегральная структура, математическое моделирование, оптимизация, интегральная схема, формирователь мощных наносекундных импульсов, импульсный модулятор, гибридный интегральный модуль, конструкция, технология, автоматизация.
Smerklo L.M. Integrated drivers of high-power nanosecond pulses and microelectronic devices on their basis. -Manuscript.
Thesis for a doctor's degree by speciality 05.12.13 -Devices of radioengineering and telecommunication. -State University "Lviv Polytechnic", Lviv, 1999.
The dissertation is devoted to design and production of new class of semiconductor IC-drivers of high-power nanosecond trapeziumform pulses (IC DPNSP) with separate formation of front and fall, free regulated pulse apex inclination and on their basis elaboration and manufacturing of small hybrid-integrated modules (HIM) of high-power pulse modulators for modern on-board specialised mm-band radar-tracking station that works at severe constraints of operation and can also find wide application at different branches of techniques and science. The physical mechanism of IC DPNSP operation was investigated, mathematical and physical models were elaborated and the new conception for design of IC DPNSP was proposed. These ICs integrate new constructive and technological solutions of high-voltage and high-speed structures of n-p-n transistors, p-channel MOSFET transistors, Schottky barrier diodes. The effectiveness of proposed conception was proved theoretically and practically. The problem of pulse modulator HIM solid-state integration was solved. The influence of constructive, technological and operational factors on shock stability, phase structure of thick-film resistors on the base of serial inks was investigated. Their application in production of high-power HIM of pulse current modulator was proven. The new construction, materials and manufacturing technology for structure, active and passive elements of microcircuits and microassemble HIM, methods of parameters' measurement were elaborated and introduced. They allow to improve physical and technical characteristics, increase output of effective devices, production precision, operation stability and reliability, reduce critical dimension and weight factors, provide functioning of pulse modulator HIM at severe climatic and mechanical constraints. New program&method complexes for providing of through automated elaboration and production of HIM design documentation are proposed. It concerns to mechanical units and microelectronic equipment modules what allows to reduce scope and time of design documentation elaboration.
Key words: semiconductor integrated structure, mathematical simulation, optimisation, integrated circuit, high-power nanosecond pulse driver, pulse modulator, hybrid integrated module, construction, technology, automatisation.